Everhart-Thornley-Detektor

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Der Everhart-Thornley-Detektor ist ein Teilchendetektor für Sekundärelektronen, welcher besonders rauscharm ist und eine große Bandbreite der auswertbaren Elektronen besitzt. Der 1960 durch Thomas Eugene Everhart und R.F.M. Thornley in einer Publikation vorgestellte Detektor wird hauptsächlich zur Bildgebung im Rasterelektronenmikroskop verwendet, um den sehr kleinen Sekundärelektronenstrom einer Probe zu verstärken.

Der Detektor besteht aus einem Szintillator in einem Faraday-Käfig und einem Photomultiplier, ist also ein Szintillationszähler. Die Elektronen erzeugen im Szintillator Photonen durch Kathodolumineszenz, welche wiederum vom Photomultiplier aufgenommen, verstärkt und in einen Spannungsimpuls umgewandelt werden. Das Besondere an diesem speziellen Aufbau ist der Einsatz von Lichtleitern, welche die Photonen des Szintillators aus der Vakuumkammer zum Photomultiplier außerhalb führen.

  • Thomas E. Everhart und R.F.M. Thornley: Wide-band detector for micro-microampere low-energy electron currents. In: Journal of Scientific Instruments. Band 37, Nr. 7, 1960, S. 246–248, doi:10.1088/0950-7671/37/7/307.
  • Günter Bertsche: Everhart-Thornley-Detektor. (pdf; 1,5 MB) In: Das Rasterelektronenmikroskop (REM) - Vorbereitungsmaterial zu einem Praktikumsversuch. Universität Tübingen, S. 8, archiviert vom Original am 26. Juni 2013; abgerufen am 8. Juli 2016 (siehe - Kap. 1.3 Ablenkelemente).